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文献
J-GLOBAL ID:202002225808973487   整理番号:20A1236073

シリコン酸化におけるひずみとキャリアの役割

Roles of strain and carrier in silicon oxidation
著者 (5件):
Ogawa Shuichi
(Institute of Multidisciplinary Research for Advanced Materials, Tohoku University, 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, Japan)
Yoshigoe Akitaka
(Materials Sciences Research Center, Japan Atomic Energy Agency, 1-1-1 Kouto, Sayo 679-5148, Japan)
Tang Jaiyi
(Institute of Multidisciplinary Research for Advanced Materials, Tohoku University, 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, Japan)
Sekihata Yuki
(Institute of Multidisciplinary Research for Advanced Materials, Tohoku University, 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, Japan)
Takakuwa Yuji
(Institute of Multidisciplinary Research for Advanced Materials, Tohoku University, 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, Japan)

資料名:
Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)

巻: 59  号: SM  ページ: SM0801 (42pp)  発行年: 2020年07月 
JST資料番号: G0520B  ISSN: 0021-4922  CODEN: JJAPB6  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 文献レビュー  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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