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文献
J-GLOBAL ID：202002225808973487
整理番号：20A1236073
シリコン酸化におけるひずみとキャリアの役割
Roles of strain and carrier in silicon oxidation
Ogawa Shuichi
(Institute of Multidisciplinary Research for Advanced Materials, Tohoku University, 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, Japan)
,
Yoshigoe Akitaka
(Materials Sciences Research Center, Japan Atomic Energy Agency, 1-1-1 Kouto, Sayo 679-5148, Japan)
,
Tang Jaiyi
(Institute of Multidisciplinary Research for Advanced Materials, Tohoku University, 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, Japan)
,
Sekihata Yuki
(Institute of Multidisciplinary Research for Advanced Materials, Tohoku University, 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, Japan)
,
Takakuwa Yuji
(Institute of Multidisciplinary Research for Advanced Materials, Tohoku University, 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, Japan)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 59 号： SM ページ： SM0801 (42pp) 発行年： 2020年07月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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