文献
J-GLOBAL ID:202002226055005171
整理番号:20A0495717
Alパッドおよびウエハ貯蔵におけるプローブマーカの変色【JST・京大機械翻訳】
The probe marker discoloration on Al pad and wafer storage
著者 (5件):
Hsieh W. F.
(Ardentec Cooperation No. 3,Taiwan,R.O.C.,30351)
,
Lin Henry
(Ardentec Cooperation No. 3,Taiwan,R.O.C.,30351)
,
Chen Vincent
(Ardentec Cooperation No. 3,Taiwan,R.O.C.,30351)
,
Ou Irene
(Ardentec Cooperation No. 3,Taiwan,R.O.C.,30351)
,
Lou Y. S.
(Ardentec Cooperation No. 3,Taiwan,R.O.C.,30351)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2019
号:
IPFA
ページ:
1-4
発行年:
2019年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)