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文献
J-GLOBAL ID：202002228276069317
整理番号：20A2238697
ウェット熱処理によるZrO2薄膜の特異な強誘電相発現機構
Abnormal ferroelectric phase formation mechanism of ZrO2 thin film by wet annealing
柴山茂久
(名大 院)
,
永野丞太郎
(名古屋大 工)
,
坂下満男
(名大 院)
,
中塚理
(名大 院)
,
中塚理
(名大 未来研)
資料名：
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 67th ページ： ROMBUNNO.14p-A303-8 発行年： 2020年02月28日
JST資料番号： Y0054B ISSN： 2436-7613 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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