文献
J-GLOBAL ID:202002228419249431
整理番号:20A0873121
熱誘起カンチレバー共鳴周波数シフトに基づくMEMSガスフローセンサ【JST・京大機械翻訳】
MEMS Gas Flow Sensor Based on Thermally Induced Cantilever Resonance Frequency Shift
著者 (5件):
Blue Robert
(Centre for Microsystems and Photonics, University of Strathclyde, Glasgow, U.K.)
,
Brown James G.
(Centre for Microsystems and Photonics, University of Strathclyde, Glasgow, U.K.)
,
Li Lijie
(Multidisciplinary Nanotechnology Centre, College of Engineering, Swansea University, Swansea, U.K)
,
Bauer Ralf
(Centre for Microsystems and Photonics, University of Strathclyde, Glasgow, U.K.)
,
Uttamchandani Deepak
(Centre for Microsystems and Photonics, University of Strathclyde, Glasgow, U.K.)
資料名:
IEEE Sensors Journal
(IEEE Sensors Journal)
巻:
20
号:
8
ページ:
4139-4146
発行年:
2020年
JST資料番号:
W1318A
ISSN:
1530-437X
CODEN:
ISJEAZ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)