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文献
J-GLOBAL ID：202002229222393272
整理番号：20A1517487
層状ビスマス系強誘電体薄膜の微細加工に及ぼすPt犠牲層の影響
Effects of Pt Sacrificial Layer on Microfabrication in Layered Bismuth-based Ferroelectric Thin Films
Obayashi Taiki
(Department of Chemical Engineering and Materials Science, Graduate School of Engineering, University of Hyogo)
,
Kobune Masafumi
(Department of Chemical Engineering and Materials Science, Graduate School of Engineering, University of Hyogo)
,
Matsunaga Takuya
(Department of Chemical Engineering and Materials Science, Graduate School of Engineering, University of Hyogo)
,
Ito Ryo
(Department of Chemical Engineering and Materials Science, Graduate School of Engineering, University of Hyogo)
,
Migita Tsubasa
(Department of Chemical Engineering and Materials Science, Graduate School of Engineering, University of Hyogo)
,
Kikuchi Takeyuki
(Department of Chemical Engineering and Materials Science, Graduate School of Engineering, University of Hyogo)
,
Kanda Kensuke
(Department of Electronics and Computer Sciences, Graduate School of Engineering, University of Hyogo)
,
Maenaka Kazusuke
(Department of Electronics and Computer Sciences, Graduate School of Engineering, University of Hyogo)
資料名：
Transactions of the Materials Research Society of Japan
(Transactions of the Materials Research Society of Japan)
巻： 45 号： 2 ページ： 31-34(J-STAGE) 発行年： 2020年
JST資料番号： L4468A ISSN： 1382-3469 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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