文献
J-GLOBAL ID:202002230937780284
整理番号:20A2227064
FEG-EPMA JEOL JXA-8530Fによる蒸着アルミニウムおよび銀層での定量的分析深さ分解能の測定【JST・京大機械翻訳】
Measurements of the quantitative analytical depth resolution at evaporated aluminium- and silver-layers with the FEG-EPMA JEOL JXA-8530F
著者 (2件):
Berger D
(Technische Universitaet Berlin, Zentraleinrichtung Elektronenmikroskopie ZELMI, Strasse des 17. Juni 135, 10623 Berlin, Germany)
,
Nissen J
(Technische Universitaet Berlin, Zentraleinrichtung Elektronenmikroskopie ZELMI, Strasse des 17. Juni 135, 10623 Berlin, Germany)
資料名:
IOP Conference Series: Materials Science and Engineering
(IOP Conference Series: Materials Science and Engineering)
巻:
891
号:
1
ページ:
012004 (11pp)
発行年:
2020年
JST資料番号:
W5559A
ISSN:
1757-8981
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)