文献
J-GLOBAL ID:202002231553943333
整理番号:20A2227481
3D印刷技術による電熱MEMSマイクロアクチュエータの設計と製作【JST・京大機械翻訳】
Design and fabrication of an electrothermal MEMS micro-actuator with 3D printing technology
著者 (1件):
Ulkir O
(Department of Electronics and Automation, University of Mus Alparslan, 49210 Mus, Turkey)
資料名:
Materials Research Express
(Materials Research Express)
巻:
7
号:
7
ページ:
075015 (15pp)
発行年:
2020年
JST資料番号:
W5570A
ISSN:
2053-1591
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)