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文献
J-GLOBAL ID：202002232136878130
整理番号：20A2223045
バイポーラ高出力マグネトロンスパッタリングの多診断研究:電気的パラメータの役割【JST・京大機械翻訳】
A poly-diagnostic study of bipolar high-power magnetron sputtering: role of electrical parameters
Michiels M
(Materia Nova Research Center, 3 Avenue Nicolas Copernic, Parc Initialis, 7000 Mons, Belgium)
,
Michiels M
(Chimie des Interactions Plasma-Surface (ChIPS), CIRMAP, Universite de Mons, 23 Place du Parc, B-7000 Mons, Belgium)
,
Godfroid T
(Materia Nova Research Center, 3 Avenue Nicolas Copernic, Parc Initialis, 7000 Mons, Belgium)
,
Snyders R
(Chimie des Interactions Plasma-Surface (ChIPS), CIRMAP, Universite de Mons, 23 Place du Parc, B-7000 Mons, Belgium)
,
Britun N
(Chimie des Interactions Plasma-Surface (ChIPS), CIRMAP, Universite de Mons, 23 Place du Parc, B-7000 Mons, Belgium)
,
Britun N
(Present address: Center for Low-temperature Plasma Sciences, Nagoya University, Chikusa-ku, 464-8603 Nagoya, Japan)
資料名：
Journal of Physics. D. Applied Physics
(Journal of Physics. D. Applied Physics)
巻： 53 号： 43 ページ： 435205 (12pp) 発行年： 2020年
JST資料番号： B0092B ISSN： 0022-3727 CODEN： JPAPBE 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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