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文献
J-GLOBAL ID：202002233468255997
整理番号：20A0916276
SiGe-MEMS-on-CMOS技術を用いたモノリシック3-Axis加速度計のサブμW動作と雑音低減【JST・京大機械翻訳】
Sub-μW Operation and Noise Reduction of Monolithic 3-Axis Accelerometers Using a SiGe-MEMS-on-CMOS Technique
Kurui Yoshihiko
(Corporate Research & Development Center, Toshiba Corporation,Japan)
,
Tomizawa Hideyuki
(Corporate Research & Development Center, Toshiba Corporation,Japan)
,
Saito Tomohiro
(Corporate Research & Development Center, Toshiba Corporation,Japan)
,
Fujimoto Akira
(Corporate Research & Development Center, Toshiba Corporation,Japan)
,
Akita Ippei
(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST),Japan)
,
Miyahara Masaya
(High Energy Accelerator Research Organization (KEK),Japan)
,
Maenaka Kazusuke
(University of Hyogo,Japan)
,
Kojima Akihiro
(Corporate Research & Development Center, Toshiba Corporation,Japan)
,
Shibata Hideki
(Corporate Research & Development Center, Toshiba Corporation,Japan)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2020 号： MEMS ページ： 785-790 発行年： 2020年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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