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J-GLOBAL ID:202002234519984253   整理番号:20A0377987

RHEEDの散漫散乱を用いたプラズマ支援分子ビームエピタクシーによるIII-窒化物材料の成長のモニタリング【JST・京大機械翻訳】

Monitoring the growth of III-nitride materials by plasma assisted molecular beam epitaxy employing diffuse scattering of RHEED
著者 (8件):
Sen Sayantani
(Centre for Research in Nanoscience and Nanotechnology, University of Calcutta, Kolkata 700106, India)
Paul Suchismita
(Centre for Research in Nanoscience and Nanotechnology, University of Calcutta, Kolkata 700106, India)
Singha Chirantan
(Centre for Research in Nanoscience and Nanotechnology, University of Calcutta, Kolkata 700106, India)
Saha Anirban
(Institute of Radio Physics and Electronics, University of Calcutta, Kolkata 700009, India)
Das Alakananda
(Institute of Radio Physics and Electronics, University of Calcutta, Kolkata 700009, India)
Guha Roy Pushan
(Institute of Radio Physics and Electronics, University of Calcutta, Kolkata 700009, India)
Pramanik Pallabi
(Department of Electronics and Telecommunication Engineering, Indian Institute of Engineering Science and Technology, Shibpur, Howrah 711103, India)
Bhattacharyya Anirban
(Institute of Radio Physics and Electronics, University of Calcutta, Kolkata 700009, India)

資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)

巻: 38  号:ページ: 014007-014007-7  発行年: 2020年 
JST資料番号: E0974A  ISSN: 2166-2746  CODEN: JVTBD9  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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