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文献
J-GLOBAL ID：202002235020297546
整理番号：20A1060006
同期ビームと平面アクチュエーションを用いたMEMSバタフライ共振器の設計と開発【JST・京大機械翻訳】
Design and development of a MEMS butterfly resonator using synchronizing beam and out of plane actuation
Khan Nabeel
(Micro/Nano-Mechatronics Laboratory, University of Windsor, Windsor, ON, Canada)
,
Ahamed Mohammed Jalal
(Micro/Nano-Mechatronics Laboratory, University of Windsor, Windsor, ON, Canada)
資料名：
Microsystem Technologies
(Microsystem Technologies)
巻： 26 号： 5 ページ： 1643-1652 発行年： 2020年
JST資料番号： W2056A ISSN： 0946-7076 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： ドイツ (DEU) 言語： 英語 (EN)
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