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文献
J-GLOBAL ID：202002236270620221
整理番号：20A1099769
深いRIEのMEMS側壁表面のトライボロジー挙動を研究するためのオンチップ微細加工試験構造【JST・京大機械翻訳】
An On-Chip Micromachined Test Structure to Study the Tribological Behavior of Deep-RIE MEMS Sidewall Surfaces
Reddy R. Ranga
(Department of Electrical Engineering and Information Systems, University of Tokyo, Tokyo, Japan)
,
Okamoto Yuki
(Department of Electrical Engineering and Information Systems, University of Tokyo, Tokyo, Japan)
,
Mita Yoshio
(Department of Electrical Engineering and Information Systems, University of Tokyo, Tokyo, Japan)
資料名：
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
(IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing)
巻： 33 号： 2 ページ： 187-195 発行年： 2020年
JST資料番号： T0521A ISSN： 0894-6507 CODEN： ITSMED 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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