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文献
J-GLOBAL ID：202002240462503686
整理番号：20A0436040
一方向要因設計を用いた半導体装置の予測保全アルゴリズムのクラスタ化パラメータ最適化【JST・京大機械翻訳】
Clustering Parameter Optimization of Predictive Maintenance Algorithm for Semiconductor Equipment Using One-way Factorial Design
Yoon Hee-Seung
(Myongji University,Department of Information and Communications Engineering,Yongin,Kyunggi-Do,Korea,449-728)
,
Han Seung-Soo
(Myongji University,Department of Information and Communications Engineering,Yongin,Kyunggi-Do,Korea,449-728)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2019 号： ICCAS ページ： 1219-1221 発行年： 2019年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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