文献
J-GLOBAL ID:202002240758369638
整理番号:20A1812255
LC-MEMS圧力センサのための平面マイクロコイルの製作【JST・京大機械翻訳】
Fabrication of Planar Microcoils for LC-MEMS Pressure Sensor
著者 (5件):
Yusof Norliana
(Universiti Kebangsaan Malaysia,Institute of Microengineering and Nanoelectronics (IMEN),43600 Bangi,Selangor,Malaysia)
,
Bais Badariah
(Universiti Kebangsaan Malaysia,Institute of Microengineering and Nanoelectronics (IMEN),43600 Bangi,Selangor,Malaysia)
,
Soin Norhayati
(University of Malaya,Department of Electrical Engineering,50603 Kuala Lumpur,Malaysia)
,
Buyong Muhamad Ramdzan
(Universiti Kebangsaan Malaysia,Institute of Microengineering and Nanoelectronics (IMEN),43600 Bangi,Selangor,Malaysia)
,
Majlis Burhanuddin Yeop
(Universiti Kebangsaan Malaysia,Institute of Microengineering and Nanoelectronics (IMEN),43600 Bangi,Selangor,Malaysia)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2020
号:
ICSE
ページ:
164-167
発行年:
2020年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)