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文献
J-GLOBAL ID：202002241132300447
整理番号：20A0826824
垂直チャネル3D NANDにおけるチャネルテーパの影響緩和【JST・京大機械翻訳】
Mitigating the Impact of Channel Tapering in Vertical Channel 3-D NAND
Bhatt Upendra Mohan
(Department of Electronics and Communication Engineering, Indian Institute of Technology Roorkee, Roorkee, India)
,
Manhas Sanjeev Kumar
(Department of Electronics and Communication Engineering, Indian Institute of Technology Roorkee, Roorkee, India)
,
Kumar Arvind
(Advanced Product and Technology Development (APTD), Applied Materials, Santa Clara, CA, USA)
,
Pakala Mahendra
(Advanced Product and Technology Development (APTD), Applied Materials, Santa Clara, CA, USA)
,
Yieh Ellie
(Advanced Product and Technology Development (APTD), Applied Materials, Santa Clara, CA, USA)
資料名：
IEEE Transactions on Electron Devices
(IEEE Transactions on Electron Devices)
巻： 67 号： 3 ページ： 929-936 発行年： 2020年
JST資料番号： C0222A ISSN： 0018-9383 CODEN： IETDAI 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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