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文献
J-GLOBAL ID：202002241799400668
整理番号：20A2236578
GaN基板のオフ角度とMOVPE成長ステップバンチングとの相関
Correlation between step bunching during the homoepitaxial growth of GaN by MOVPE and off angle of free-standing substrate
渡邉浩崇
(名大 未来材料・システム研)
,
新田州吾
(名大 未来材料・システム研)
,
安藤悠人
(名大 院)
,
出来真斗
(名大 未来材料・システム研)
,
田中敦之
(名大 未来材料・システム研)
,
田中敦之
(物質・材料研究機構)
,
本田善央
(名大 未来材料・システム研)
,
天野浩
(名大 未来材料・システム研)
,
天野浩
(名大 赤崎記念研究セ)
,
天野浩
(名大 VBL)
資料名：
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 67th ページ： ROMBUNNO.12a-A302-1 発行年： 2020年02月28日
JST資料番号： Y0054B ISSN： 2436-7613 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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