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文献
J-GLOBAL ID：202002242103916425
整理番号：20A0528719
メタンとアセチレンを用いたハイブリッドPVD-PECVD法により調製した硬質W-C:H被覆における水素化とハイブリッド化【JST・京大機械翻訳】
Hydrogenation and hybridization in hard W-C:H coatings prepared by hybrid PVD-PECVD method with methane and acetylene
Lofaj Frantisek
(Institute of Materials Research of the Slovak Academy of Sciences, Watsonova 47, 040 01 Kosice, Slovakia)
,
Kabatova Margita
(Institute of Materials Research of the Slovak Academy of Sciences, Watsonova 47, 040 01 Kosice, Slovakia)
,
Dobrovodsky Jozef
(Advanced Technologies Research Institute, Faculty of Materials Science and Technology in Trnava, Slovak University of Technology in Bratislava, J. Bottu 25, 91724 Trnava, Slovakia)
,
Cempura Grzegorz
(International Centre of Electron Microscopy for Materials Science, AGH University of Science and Technology, al. A. Mickiewicza 30, 30059 Krakow, Poland)
資料名：
International Journal of Refractory Metals & Hard Materials
(International Journal of Refractory Metals & Hard Materials)
巻： 88 ページ： Null 発行年： 2020年
JST資料番号： H0059B ISSN： 0263-4368 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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