文献
J-GLOBAL ID:202002242724022420
整理番号:20A0546522
プラズマ発光分光法による溶融シリカ内の水素プラズマ誘起欠陥形成のインラインモニタリング【JST・京大機械翻訳】
Inline monitoring of hydrogenous plasma-induced defect formation within fused silica via plasma emission spectroscopy
著者 (4件):
Gerhard Christoph
(Fakultaet Naturwissenschaften und Technik, Hochschule fuer Angewandte Wissenschaft und Kunst, Gottingen, Germany)
,
Letien Emilie
(Departement Mesures Physiques, Institut Universitaire de Technologie A de Lille, Villeneuve d’Ascq Cedex, France)
,
Cressent Thomas
(Departement Chimie, Institut Universitaire de Technologie A de Lille, Villeneuve d’Ascq Cedex, France)
,
Hofmann Mandy
(Fachbereich Ingenieur- und Naturwissenschaften, Technische Hochschule Wildau, Wildau, Germany)
資料名:
Applied Physics. A. Materials Science & Processing
(Applied Physics. A. Materials Science & Processing)
巻:
126
号:
3
ページ:
165
発行年:
2020年
JST資料番号:
D0256C
ISSN:
0947-8396
CODEN:
APHYCC
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
ドイツ (DEU)
言語:
英語 (EN)