文献
J-GLOBAL ID:202002246208249221
整理番号:20A0463592
半導体製造に関わるトライボロジー技術の動向
Recent Trends in Tribology Related to Semiconductor Manufacturing
著者 (1件):
清水淳
(茨城大学 大学院理工学研究科 機械システム工学領域)
資料名:
トライボロジスト
(Journal of Japanese Society of Tribologists)
巻:
64
号:
12
ページ:
705-711(J-STAGE)
発行年:
2019年
JST資料番号:
F0390A
ISSN:
0915-1168
CODEN:
TORAEO
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
解説
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)