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文献
J-GLOBAL ID：202002246840388643
整理番号：20A2236908
高精度電流計測アレイテスト回路を用いたMIM素子の大規模測定
Large-Scale Evaluation of MIM Devices Using High-Precision Current Measurement Array Test Circuit
鈴木勇人
(東北大 大学院)
,
PARK Hyeonwoo
(東北大 大学院)
,
寺本章伸
(広島大)
,
寺本章伸
(東北大 NICHe)
,
黒田理人
(東北大 大学院)
,
黒田理人
(東北大 NICHe)
,
諏訪智之
(東北大 NICHe)
,
須川成利
(東北大 大学院)
,
須川成利
(東北大 NICHe)
資料名：
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 67th ページ： ROMBUNNO.12p-A305-7 発行年： 2020年02月28日
JST資料番号： Y0054B ISSN： 2436-7613 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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