文献
J-GLOBAL ID:202002248467024008
整理番号:20A2260212
金属支援化学エッチングによって作製されたシリコンビア【JST・京大機械翻訳】
Silicon Vias Fabricatied by Metal-Assisted Chemical Etching
著者 (4件):
Xu Hongbo
(Harbin Institute of Technology (Weihai),State Key Laboratory of Advanced Welding and Joining,Weihai,China)
,
Wang Jianqiang
(Harbin Institute of Technology (Shenzhen),State Key Laboratory of Advanced Welding and Joining,Shenzhen,China)
,
Zhao Hongyun
(Harbin Institute of Technology (Weihai),State Key Laboratory of Advanced Welding and Joining,Weihai,China)
,
Li Mingyu
(Harbin Institute of Technology (Shenzhen),State Key Laboratory of Advanced Welding and Joining,Shenzhen,China)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2020
号:
ICEPT
ページ:
1-3
発行年:
2020年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)