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文献
J-GLOBAL ID：202002248781643996
整理番号：20A0914458
フロントエンドウエハ製造プロセスの性能に及ぼす予備部品サービス測定の影響【JST・京大機械翻訳】
Influence of Spare Parts Service Measures on the Performance of Front-End Wafer Production Process
Lamghari-Idrissi Douniel
(Eindhoven University of Technology,School of Industrial Engineering,Eindhoven,THE NETHERLANDS,5600MB)
,
Soellaart Daniel
(Eindhoven University of Technology,School of Industrial Engineering,Eindhoven,THE NETHERLANDS,5600MB)
,
Basten Rob
(Eindhoven University of Technology,School of Industrial Engineering,Eindhoven,THE NETHERLANDS,5600MB)
,
Dellaert Nico
(Eindhoven University of Technology,School of Industrial Engineering,Eindhoven,THE NETHERLANDS,5600MB)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2019 号： WSC ページ： 2269-2280 発行年： 2019年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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