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文献
J-GLOBAL ID：202002251459470091
整理番号：20A0588980
集束イオンビームに基づく再堆積を効率的に除去することによる高品質Fresnelゾーンプレートの作製【JST・京大機械翻訳】
Fabricating high-quality Fresnel zone plates by efficiently eliminating redeposition based on focused ion beam
Chen Jie
(Fudan University, Shanghai Engineering Center of Ultra-Precision Optical Manufacturing, Shanghai, China)
,
Chen Jie
(China Academy of Engineering Physics, Institute of Materials, Jiangyou, China)
,
Wang Junhua
(Fudan University, Shanghai Engineering Center of Ultra-Precision Optical Manufacturing, Shanghai, China)
,
Ma Bangjun
(China Academy of Engineering Physics, Institute of Materials, Jiangyou, China)
,
Wang Xiaolong
(China Academy of Engineering Physics, Institute of Materials, Jiangyou, China)
,
Yuan Dengpeng
(China Academy of Engineering Physics, Institute of Materials, Jiangyou, China)
,
Liao Junsheng
(China Academy of Engineering Physics, Institute of Materials, Jiangyou, China)
,
Xu Min
(Fudan University, Shanghai Engineering Center of Ultra-Precision Optical Manufacturing, Shanghai, China)
資料名：
Optical Engineering
(Optical Engineering)
巻： 58 号： 8 ページ： 087104 発行年： 2019年
JST資料番号： B0577B ISSN： 0091-3286 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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