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文献
J-GLOBAL ID：202002251633676128
整理番号：20A2276482
配置したAlNセンサ-アクチュエータ対を有するAFMマイクロカンチレバー:動的イメージングのための効率的なQ制御を可能にする【JST・京大機械翻訳】
AFM Microcantilever With a Collocated AlN Sensor-Actuator Pair: Enabling Efficient Q-Control for Dynamic Imaging
Mahdavi Mohammad
(Erik Jonsson School of Engineering and Computer Science, The University of Texas at Dallas, Richardson, TX, USA)
,
Nikooienejad Nastaran
(Erik Jonsson School of Engineering and Computer Science, The University of Texas at Dallas, Richardson, TX, USA)
,
Moheimani S. O. Reza
(Erik Jonsson School of Engineering and Computer Science, The University of Texas at Dallas, Richardson, TX, USA)
資料名：
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 29 号： 5 ページ： 661-668 発行年： 2020年
JST資料番号： W0357A ISSN： 1057-7157 CODEN： JMIYET 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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