文献
J-GLOBAL ID:202002251858079652
整理番号:20A1524997
ガラス上のスピンからGeへ拡散したn型ドーパントの拡散特性【JST・京大機械翻訳】
Diffusion properties of n-type dopants diffused from spin on glass into Ge
著者 (3件):
Takaguchi Ryotaro
(Department of Electrical Engineering and Information Systems, The University of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo, Japan)
,
Takenaka Mitsuru
(Department of Electrical Engineering and Information Systems, The University of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo, Japan)
,
Takagi Shinichi
(Department of Electrical Engineering and Information Systems, The University of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo, Japan)
資料名:
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻:
128
号:
1
ページ:
015707-015707-7
発行年:
2020年
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIAU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)