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文献
J-GLOBAL ID：202002251985361098
整理番号：20A1030322
低コストミストCVD法によるa-,c-およびr-面サファイア基板上のα-Ga_2O_3薄膜のヘテロエピタキシャル成長【JST・京大機械翻訳】
Heteroepitaxial growth of α-Ga2O3 thin films on a-, c- and r-plane sapphire substrates by low-cost mist-CVD method
Cheng Yaolin
(Wide Bandgap Semiconductor Technology Disciplines State Key Laboratory, School of Microelectronics, Xidian University, Xi’an, 710071, China)
,
Xu Yu
(Wide Bandgap Semiconductor Technology Disciplines State Key Laboratory, School of Microelectronics, Xidian University, Xi’an, 710071, China)
,
Li Zhe
(Wide Bandgap Semiconductor Technology Disciplines State Key Laboratory, School of Microelectronics, Xidian University, Xi’an, 710071, China)
,
Zhang Jiaqi
(Wide Bandgap Semiconductor Technology Disciplines State Key Laboratory, School of Microelectronics, Xidian University, Xi’an, 710071, China)
,
Chen Dazheng
(Wide Bandgap Semiconductor Technology Disciplines State Key Laboratory, School of Microelectronics, Xidian University, Xi’an, 710071, China)
,
Feng Qian
(Wide Bandgap Semiconductor Technology Disciplines State Key Laboratory, School of Microelectronics, Xidian University, Xi’an, 710071, China)
,
Xu Shengrui
(Wide Bandgap Semiconductor Technology Disciplines State Key Laboratory, School of Microelectronics, Xidian University, Xi’an, 710071, China)
,
Zhou Hong
(Wide Bandgap Semiconductor Technology Disciplines State Key Laboratory, School of Microelectronics, Xidian University, Xi’an, 710071, China)
,
Zhang Jincheng
(Wide Bandgap Semiconductor Technology Disciplines State Key Laboratory, School of Microelectronics, Xidian University, Xi’an, 710071, China)
,
Hao Yue
(Wide Bandgap Semiconductor Technology Disciplines State Key Laboratory, School of Microelectronics, Xidian University, Xi’an, 710071, China)
,
Zhang Chunfu
(Wide Bandgap Semiconductor Technology Disciplines State Key Laboratory, School of Microelectronics, Xidian University, Xi’an, 710071, China)
資料名：
Journal of Alloys and Compounds
(Journal of Alloys and Compounds)
巻： 831 ページ： Null 発行年： 2020年
JST資料番号： D0083A ISSN： 0925-8388 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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