文献
J-GLOBAL ID:202002252511942604
整理番号:20A2323877
湿度センサ応用のためのMEMS共振器の設計,モデリングとシミュレーション【JST・京大機械翻訳】
Design, Modeling and Simulation of MEMS Resonator for Humidity Sensor Application
著者 (3件):
Mutharpavalar Ashaashvini
(Universiti Teknologi PETRONAS,Department of Electrical & Electronics,Perak Darul Ridzuan,Malaysia,32610)
,
Ahmed A. Y.
(Universiti Teknologi PETRONAS,Department of Electrical & Electronics,Perak Darul Ridzuan,Malaysia,32610)
,
Mohd Nor Nursyarizal
(Universiti Teknologi PETRONAS,Department of Electrical & Electronics,Perak Darul Ridzuan,Malaysia,32610)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2020
号:
SAS
ページ:
1-6
発行年:
2020年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)