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文献
J-GLOBAL ID：202002254560098308
整理番号：20A1762220
Ti-15V-3Cr-3Al-3Sn合金および工業用純チタンのスパッタエッチングによる微細孔の形成
Formation of Fine Holes by Sputter Etching of Ti-15V-3Cr-3Al-3Sn Alloy and Commercially Pure Titanium
中佐啓治郎
(広島国際学院大学ハイテク・リサーチ・センター)
,
山本旭宏
(旭サーフェステック合同会社)
,
久保隆
(広島国際学院大学工学部生産工学科)
,
李木経孝
(広島国際学院大学工学部生産工学科)
資料名：
日本金属学会誌
(Journal of the Japan Institute of Metals and Materials)
巻： 84 号： 5 ページ： 167-175(J-STAGE) 発行年： 2020年
JST資料番号： G0023A ISSN： 0021-4876 CODEN： NIKGAV 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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