文献
J-GLOBAL ID:202002255654376776
整理番号:20A0300086
高パルス繰返し速度ArFエキシマレーザ放射によるレーザ誘起損傷しきい値【JST・京大機械翻訳】
Laser-induced damage threshold by high pulse repetition rate ArF excimer laser radiation
著者 (6件):
Kumazaki Takahito
(Gigaphoton Inc. (Japan))
,
Tei Daisuke
(Gigaphoton Inc. (Japan))
,
Hattori Masakazu
(Gigaphoton Inc. (Japan))
,
Fujimaki Yousuke
(Gigaphoton Inc. (Japan))
,
Fujimoto Junichi
(Gigaphoton Inc. (Japan))
,
Mizoguchi Hakaru
(Gigaphoton Inc. (Japan))
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
11173
ページ:
1117307-6
発行年:
2019年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)