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文献
J-GLOBAL ID：202002255902691633
整理番号：20A2687210
共焦点顕微鏡と触針式測定機で測定した表面粗さの等価性評価
Equivalence evaluation of surface roughness measured with a confocal microscope and a stylus instrument
中野雅晴
(静岡県工業技術研)
資料名：
静岡県工業技術研究所研究報告
(Reports of the Industrial Research Institute of Shizuoka Prefecture)
号： 13 ページ： 81-85 発行年： 2020年11月20日
JST資料番号： G0604B ISSN： 1883-2350 CODEN： SKGKBP 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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