文献
J-GLOBAL ID:202002256294377483
整理番号:20A2617893
Argonクラスタイオンによるカリウムチタニルリン酸塩スパッタリング特性【JST・京大機械翻訳】
Potassium Titanyl Phosphate Sputtering Features by Argon Cluster Ions
著者 (3件):
Nikolaev Ivan
(Novosibirsk State University,1 Pirogov Str., Novosibirsk,Russia,630090)
,
Korobeishchikov Nikolay
(Novosibirsk State University,1 Pirogov Str., Novosibirsk,Russia,630090)
,
Roenko Maxim
(Novosibirsk State University,1 Pirogov Str., Novosibirsk,Russia,630090)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2020
号:
EFRE
ページ:
526-528
発行年:
2020年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)