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文献
J-GLOBAL ID：202002256723024166
整理番号：20A2579690
ZnO紫外光検出器の検出器電流を低減するための光化学蒸着による二酸化ケイ素の作製【JST・京大機械翻訳】
Fabrication of Silicon Dioxide by Photo-Chemical Vapor Deposition to Decrease Detector Current of ZnO Ultraviolet Photodetectors
Young Sheng-Joue
(Department of Electronic Engineering, National United University, Taiwan)
,
Liu Yi-Hsing
(Institute of Microelectronics, Department of Electrical Engineering, National Cheng Kung University, Taiwan)
,
Chang Shoou-Jinn
(Institute of Microelectronics, Department of Electrical Engineering, National Cheng Kung University, Taiwan)
,
Chiu Chieh-Fei
(Institute of Microelectronics, Department of Electrical Engineering, National Cheng Kung University, Taiwan)
資料名：
ACS Omega
(ACS Omega)
巻： 5 号： 42 ページ： 27566-27571 発行年： 2020年
JST資料番号： W5044A ISSN： 2470-1343 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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