文献
J-GLOBAL ID:202002256731716537
整理番号:20A0797021
その場エリプソメトリー研究による水素化非晶質炭素および窒素修飾炭素層の熱光学特性【JST・京大機械翻訳】
Thermo-optical properties of hydrogenated amorphous carbon and nitrogen-modified carbon layers from in situ ellipsometric studies
著者 (3件):
Jaglarz Janusz
(Cracow University of Technology, Al. Jana Pawla II 37, 31-864 Krakow, Poland)
,
Dyndal Katarzyna
(AGH University of Science and Technology, Al. Mickiewicza 30, 30-059 Krakow, Poland)
,
Tkacz-Smiech Katarzyna
(Faculty of Materials Science and Ceramics, AGH University of Science and Technology, Al. Mickiewicza 30, 30-059 Krakow, Poland)
資料名:
Journal of Materials Research and Technology
(Journal of Materials Research and Technology)
巻:
9
号:
2
ページ:
1698-1707
発行年:
2020年
JST資料番号:
W3532A
ISSN:
2238-7854
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)