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文献
J-GLOBAL ID：202002257643075468
整理番号：20A2445877
超薄膜センサとしてのマイクロ波ダイヤモンドベースHBAR Pt蒸着【JST・京大機械翻訳】
Microwave Diamond-based HBAR as Ultrathin Film Sensor. Pt Deposition
Sorokin Boris
(Technological Institute for Superhard and Novel Carbon Materials (TISNCM),Moscow, Troitsk,Russia)
,
Kvashnin Gennady
(Technological Institute for Superhard and Novel Carbon Materials (TISNCM),Moscow, Troitsk,Russia)
,
Asafiev Nikita
(Moscow Institute of Physics and Technology,Dolgoprudny, Moscow Region,Russian Federation)
,
Kravchuk Konstantin
(Technological Institute for Superhard and Novel Carbon Materials (TISNCM),Moscow, Troitsk,Russia)
,
Luparev Nikolay
(Technological Institute for Superhard and Novel Carbon Materials (TISNCM),Moscow, Troitsk,Russia)
,
Kvashnin Gennady
(Technological Institute for Superhard and Novel Carbon Materials (TISNCM),Moscow, Troitsk,Russia)
,
Sotnikov Andrey
(Leibniz Institute for Solid State and Materials Research,Dresden,Germany)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2020 号： IFCS-ISAF ページ： 1-4 発行年： 2020年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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