文献
J-GLOBAL ID:202002257937054764
整理番号:20A2622857
DREMとラッピングを用いたCMUT素子の電気絶縁【JST・京大機械翻訳】
Electrical Insulation of CMUT Elements Using DREM and Lapping
著者 (3件):
Grue Stine Lovholt
(Technical University of Denmark,Department of Health Technology,DK-2800 Kgs., Lyngby,Denmark)
,
Engholm Mathias
(Technical University of Denmark,Department of Health Technology,DK-2800 Kgs., Lyngby,Denmark)
,
Thomsen Erik Vilain
(Technical University of Denmark,Department of Health Technology,DK-2800 Kgs., Lyngby,Denmark)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2020
号:
IUS
ページ:
1-4
発行年:
2020年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)