文献
J-GLOBAL ID:202002258031169390
整理番号:20A2446260
誘導プラズマイオン源における高周波およびプラズマ結合に関するノート【JST・京大機械翻訳】
Notes on Radiofrequency and Plasma Coupling in Inductive Plasma Ion Sources
著者 (1件):
Cavenago Marco
(INFN-LNL, viale dell’Universita ́ 2,(PD),Italy,35020)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2020
号:
URSI GASS
ページ:
1-4
発行年:
2020年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)