文献
J-GLOBAL ID:202002258386267069
整理番号:20A0743192
SEMのための矩形断面を持つ試験物体:2.溝幅の認証【JST・京大機械翻訳】
Test Objects with a Rectangular Profile for SEM: 2. Certification of the Groove Width
著者 (1件):
Novikov Yu. A.
(Prokhorov Institute of General Physics, Russian Academy of Sciences, Moscow, Russia)
資料名:
Journal of Surface Investigation: X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques
(Journal of Surface Investigation: X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques)
巻:
14
号:
1
ページ:
105-116
発行年:
2020年
JST資料番号:
W4669A
ISSN:
1027-4510
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
ドイツ (DEU)
言語:
英語 (EN)