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文献
J-GLOBAL ID：202002258466080500
整理番号：20A0023765
窒素を添加したDLC膜特性へのアニール効果
Annealing effects on the properties of nitrogen doped DLC films
長内公哉
(弘前大 大学院理工学研究科)
,
中村和樹
(弘前大 大学院理工学研究科)
,
郡山春人
(弘前大 大学院理工学研究科)
,
小林康之
(弘前大 大学院理工学研究科)
,
遠田義晴
(弘前大 大学院理工学研究科)
,
鈴木裕史
(弘前大 大学院理工学研究科)
,
末光眞希
(東北大 電通研)
,
中澤日出樹
(弘前大 大学院理工学研究科)
資料名：
電子情報通信学会技術研究報告
(IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 119 号： 271(CPM2019 44-51) ページ： 9-14 発行年： 2019年10月31日
JST資料番号： S0532B ISSN： 0913-5685 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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