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文献
J-GLOBAL ID：202002258930676176
整理番号：20A1070538
シリコン貫通ビアの形成に関するチュートリアル【JST・京大機械翻訳】
Tutorial on forming through-silicon vias
Burkett Susan L.
(Department of Electrical and Computer Engineering, The University of Alabama, P. O. Box 872086, Tuscaloosa, Alabama 35487)
,
Jordan Matthew B.
(Sandia National Laboratories, Albuquerque, New Mexico 87185)
,
Schmitt Rebecca P.
(Sandia National Laboratories, Albuquerque, New Mexico 87185)
,
Menk Lyle A.
(Sandia National Laboratories, Albuquerque, New Mexico 87185)
,
Hollowell Andrew E.
(Sandia National Laboratories, Albuquerque, New Mexico 87185)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 38 号： 3 ページ： 031202-031202-15 発行年： 2020年
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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