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文献
J-GLOBAL ID：202002259287736668
整理番号：20A0844740
フェムト秒レーザ光源を用いた角度センサによる形状計測に関する研究-マルチビーム角度センサの設計-
Feasibility study on an encoder system employing a micro thermal sensor head
清水裕樹
(東北大)
,
高園翔太
(東北大)
,
神田悠利
(東北大)
,
松隈啓
(東北大)
,
稲場肇
(東北大)
,
GAO Wei
(東北大)
資料名：
精密工学会大会学術講演会講演論文集
(精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2020 号： 春季(CD-ROM) ページ： ROMBUNNO.G47 発行年： 2020年03月01日
JST資料番号： Y0914A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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