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文献
J-GLOBAL ID：202002259776899281
整理番号：20A1088093
Si/SiO2/SiOx構造を持つ導波路モードセンサチップ
Waveguide-mode Sensor Chip with Si/SiO2/SiOx Structure
YASUURA Masato
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
UENO Koji
(C&I Co., Ltd., Ibaraki, JPN)
,
ASHIBA Hiroki
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
NAKAYA Yuki
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
FUJIMAKI Makoto
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
資料名：
Sensors and Materials
(Sensors and Materials)
巻： 32 号： 4 (3) ページ： 1567-1576 発行年： 2020年
JST資料番号： L0338A ISSN： 0914-4935 CODEN： SENMER 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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