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文献
J-GLOBAL ID：202002260166275721
整理番号：20A1020906
LER参照計測のためのSEMとAFM性能の比較【JST・京大機械翻訳】
Comparison of SEM and AFM performances for LER reference metrology
Kizu Ryosuke
(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (Japan))
,
Misumi Ichiko
(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (Japan))
,
Hirai Akiko
(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (Japan))
,
Gonda Satoshi
(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (Japan))
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 11325 ページ： 113250Q-8 発行年： 2020年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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