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文献
J-GLOBAL ID：202002260407087790
整理番号：20A0763579
低損傷対向ターゲット型スパッタリング法により堆積した酸化インジウムすず上部電極膜を持つトップ発光有機発光ダイオード【JST・京大機械翻訳】
Top-emission organic light emitting diode with indium tin oxide top-electrode films deposited by a low-damage facing-target type sputtering method
Yasuda Yoji
(Department of Electronics and Mechatronics, Tokyo Polytechnic University, 1853 Iiyama, Atsugi, Kanagawa 243-0297, Japan)
,
Kobayashi Shin-ichi
(Department of Electronics and Mechatronics, Tokyo Polytechnic University, 1853 Iiyama, Atsugi, Kanagawa 243-0297, Japan)
,
Uchida Takayuki
(Department of Media and Image Technology, Tokyo Polytechnic University, 1853 Iiyama, Atsugi, Kanagawa 243-0297, Japan)
,
Hoshi Yoichi
(Department of Electronics and Mechatronics, Tokyo Polytechnic University, 1853 Iiyama, Atsugi, Kanagawa 243-0297, Japan)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 698 ページ： Null 発行年： 2020年
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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