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文献
J-GLOBAL ID：202002261364188557
整理番号：20A1046940
透過偏光顕微鏡によるSiCウエハの結晶欠陥と転位解析
Crystal Defect and Dislocation Analysis of SiC Wafers by Transmission Polarization Microscopy
TAKENAKA Kensuke
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST))
,
TAKENAKA Kensuke
(Fuji Electric)
,
TAWARA Takeshi
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST))
,
TAWARA Takeshi
(Fuji Electric)
,
KATO Tomohisa
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST))
資料名：
Fuji Electric Review
(Fuji Electric Review)
巻： 65 号： 4 ページ： 254-260 発行年： 2019年12月30日
JST資料番号： S0167A ISSN： 0429-8284 CODEN： FUERB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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