文献
J-GLOBAL ID:202002261421009300
整理番号:20A2477666
ナノメータスケールの位置決めのためのコンパクトな磁気浮上ステージシステム【JST・京大機械翻訳】
Compact maglev stage system for nanometer-scale positioning
著者 (3件):
Takahashi Motohiro
(Research and Development Group, Hitachi, Ltd., Hitachinaka, Ibaraki, Japan)
,
Ogawa Hironori
(Research and Development Group, Hitachi, Ltd., Hitachinaka, Ibaraki, Japan)
,
Kato Takanori
(Research and Development Group, Hitachi, Ltd., Hitachinaka, Ibaraki, Japan)
資料名:
Precision Engineering
(Precision Engineering)
巻:
66
ページ:
519-530
発行年:
2020年
JST資料番号:
A0734B
ISSN:
0141-6359
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)