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文献
J-GLOBAL ID：202002261620573369
整理番号：20A2237021
n+-GaNとメタルの連続成長による自己整合コンタクト形成
Self-aligned contact formation by continuous growth of n+-GaN and metal
小笠原直
(Kyoto Inst. of Technol.)
,
吉本昌広
(Kyoto Inst. of Technol.)
,
児玉和樹
(Nagoya Univ.)
,
上田大助
(Nagoya Univ.)
資料名：
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 67th ページ： ROMBUNNO.12p-B401-9 発行年： 2020年02月28日
JST資料番号： Y0054B ISSN： 2436-7613 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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