文献
J-GLOBAL ID:202002261647444547
整理番号:20A2622816
自由境界を有する圧電微細加工超音波変換器(pMUT)【JST・京大機械翻訳】
Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers (pMUT) with Free Boundary
著者 (2件):
Pala Sedat
(Berkeley Sensor & Actuator Center, University of California,Department of Mechanical Engineering,Berkeley,CA,USA)
,
Lin Liwei
(Berkeley Sensor & Actuator Center, University of California,Department of Mechanical Engineering,Berkeley,CA,USA)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2020
号:
IUS
ページ:
1-4
発行年:
2020年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)