文献
J-GLOBAL ID:202002261932575419
整理番号:20A0405456
ポリメタクリル酸メチル表面のプラズマCVD/エッチング 光学的および構造的キャラクタリゼーション【JST・京大機械翻訳】
Plasma CVD/etching of Poly(methyl methacrylate) surface: optical and structural characterizations
著者 (5件):
Saloum S
(Physics Department, Atomic Energy Commission, P O Box 6091 Damascus, Syria)
,
Shaker S A
(Physics Department, Atomic Energy Commission, P O Box 6091 Damascus, Syria)
,
Hussin R
(Physics Department, Atomic Energy Commission, P O Box 6091 Damascus, Syria)
,
Obaid A
(Physics Department, Atomic Energy Commission, P O Box 6091 Damascus, Syria)
,
Alkafri M N
(Physics Department, Atomic Energy Commission, P O Box 6091 Damascus, Syria)
資料名:
Materials Research Express
(Materials Research Express)
巻:
6
号:
10
ページ:
105371 (9pp)
発行年:
2019年
JST資料番号:
W5570A
ISSN:
2053-1591
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)