文献
J-GLOBAL ID:202002262035655913
整理番号:20A2551381
混合型欠陥パターンによるウエハビンマップ分類のための半教師付きマルチラベル学習【JST・京大機械翻訳】
Semi-Supervised Multi-Label Learning for Classification of Wafer Bin Maps With Mixed-Type Defect Patterns
著者 (2件):
Lee Hyuck
(Department of Industrial and Systems Engineering, Korea Advanced Institute of Science and Technology, Daejeon, South Korea)
,
Kim Heeyoung
(Department of Industrial and Systems Engineering, Korea Advanced Institute of Science and Technology, Daejeon, South Korea)
資料名:
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
(IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing)
巻:
33
号:
4
ページ:
653-662
発行年:
2020年
JST資料番号:
T0521A
ISSN:
0894-6507
CODEN:
ITSMED
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)