文献
J-GLOBAL ID:202002262750070530
整理番号:20A2522550
Ar-HMDSO混合物における単一フィラメント誘電体障壁放電からのイオン膜堆積の証拠【JST・京大機械翻訳】
Evidence of ionic film deposition from single-filament dielectric barrier discharges in Ar-HMDSO mixtures
著者 (3件):
Brocker Lars
(Institute for Surface Technology, IOT, Technische Universitaet Braunschweig, Braunschweig, Germany)
,
Perlick Gesa S.
(Institute for Surface Technology, IOT, Technische Universitaet Braunschweig, Braunschweig, Germany)
,
Klages Claus-Peter
(Institute for Surface Technology, IOT, Technische Universitaet Braunschweig, Braunschweig, Germany)
資料名:
Plasma Processes and Polymers
(Plasma Processes and Polymers)
巻:
17
号:
11
ページ:
e2000129
発行年:
2020年
JST資料番号:
W1950A
ISSN:
1612-8850
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)